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橢圓偏振測(cè)厚儀

橢圓偏振測(cè)厚儀

產(chǎn)品時(shí)間:2024-11-07

簡(jiǎn)要描述:

SGC-1A橢圓偏振測(cè)厚儀近代科學(xué)技術(shù)的許多學(xué)科對(duì)各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛,因此,測(cè)得薄膜厚度和光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實(shí)際工作中,常常使用橢圓偏振法來(lái)進(jìn)行測(cè)量。這種方法測(cè)量靈敏度和精度較高,并且是非破壞性測(cè)量。他能同時(shí)測(cè)定薄膜的厚度和折射率。

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SGC-1A橢圓偏振測(cè)厚儀近代科學(xué)技術(shù)的許多學(xué)科對(duì)各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛,因此,測(cè)得薄膜厚度和光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實(shí)際工作中,常常使用橢圓偏振法來(lái)進(jìn)行測(cè)量。這種方法測(cè)量靈敏度和精度較高,并且是非破壞性測(cè)量。他能同時(shí)測(cè)定薄膜的厚度和折射率。

本產(chǎn)品為手動(dòng)方式調(diào)節(jié)儀器,測(cè)量薄膜的厚度和光學(xué)參數(shù)。清晰的展示了橢圓偏振測(cè)厚儀的各個(gè)部件的結(jié)構(gòu)功能,調(diào)節(jié)方法,使用戶可詳細(xì)的了解橢圓儀的原理結(jié)構(gòu),并培養(yǎng)其動(dòng)手操作能力。

SGC-1A橢圓偏振測(cè)厚儀參數(shù)

編號(hào)

名稱

參數(shù)

1

測(cè)量范圍

1nm-300nm

2

測(cè)量小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°~180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標(biāo)小讀數(shù)

0.05°

7

光學(xué)中心高度

152mm

8

工作臺(tái)直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機(jī)重量

20kg

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