RTS-9雙電測四探針測試儀測量原理
雙電測組合四探針法采用了以下二種組合的測量模式（見圖1）。
將直線四探針垂直壓在被測樣品表面上分別進(jìn)行I14V23和I13V24組合測量，測量過程如下：
1. 進(jìn)行I14V23組合測量：
電流Ｉ從１針→４針，從２、３針測得電壓V23+；
電流換向，Ｉ從４針→１針，從２、３針測得電壓V23-；
計算正反向測量平均值：V23＝(V23+ ＋V23- )／2；
2. 進(jìn)行I13V24組合測量：
電流Ｉ從１針→３針，從２、４針測得電壓 V24+；
電流換向，Ｉ從３針→１針，從２、４針測得電壓 V24-；
計算正反向測量平均值：V24＝(V24+ ＋V24- )／2；
3. 計算（V23／V24）值；
（以上V23、V24均以 mV 為單位）；
4. 按以下兩公式計算幾何修正因子Ｋ：
若 1.18＜（V23 ／V24）≤1.38 時；
K＝－14.696＋25.173(V23／V24)－7.872(V23／V24)2 ； …(1)
若 1.10≤（V23／V24）≤1.18 時；
K＝－15.85＋26.15(V23／V24)－7.872(V23／V24)2 ； …(2)
5. 計算方塊電阻 R□ ：
Ｒ□ ＝Ｋ·(V23／Ｉ) (單位：Ω／□) ； …(3)
其中：Ｉ為測試電流，單位：mA；
V23為從２、３針測得電壓V23+和V23-的平均值，單位：mV；
6. 若已知樣品厚度W，可按下式計算樣品體電阻率ρ：
ρ＝R□·W·F(W/S)／10 (單位：Ω.cm)； …(4)
其中：Ｒ□為方塊電阻值，單位：Ω／□；
W為樣片厚度，單位：mm（W ≤3mm）；
S為探針平均間距，單位：mm；
F(W/S) 為厚度修正系數(shù)；
7. 計算百分變化率（以測試樣品電阻率ρ為例）：
ρM －ρm
大百分變化（％）＝─────×100％ …(5)
ρm
│ρa －ρc │
平均百分變化（％）＝─────────×100％ …(6)
ρc
２（ρM －ρm ）
徑向不均勻度Ｅ（％）＝──────────×100％ …(7)
ρM ＋ρm
以上式中：ρM 、ρm 分別為測量的電阻率大值與小值，單位：Ω.cm；
ρc 為第1、2 點（即圓片中心測量點）測量平均值，單位：Ω.cm；
ρa 為除第1、2 點外其余各點的測量平均值，單位：Ω.cm；
（若測量樣品的方塊電阻值,則將(5)、(6)、(7)式中的ρM 、ρm 、ρa 、ρc 分別改成ＲM 、Ｒm 、Ｒa 、和Ｒc 。其公式意義與ρM 、ρm 、ρa 、ρc 相似）。
